MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
 
4-Point Probe
 
4-Point Probe
Metal 두께 측정
       
 
Nanospec
 
Nanospec
박막 (SiO2, SiN, PR,,,,,,,,,)두께 측정
       
 
ALPHA STEP
 
alpha step
제조사 : KLA-TENCOR
모델 : ASIQ
설치일 : 2008년 6월 16일
단차 및 Thin Film의 두께를 측정하는 장비
       
 
E-SEM
 
E-SEM
제조사:TESCAN
모델명:VEGA MIRA-LMU SEM
Resolution: In high vacuum mode (SE): < 2.0 nm at 30 kV
Resolution: In low vacuum mode : < 2.5 nm at 30 kV