MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
³â ¿ù ÀÏ ¿¡ ´ëÇÑ ¿¹¾à ÇöȲ ÀÔ´Ï´Ù.

 
RIE I
RIE II
RIE¥²
SPIN COATER
Spin Coater3
SPIN RINSE DRYER
Wafer Bonder/Aligner
wafer Á¦°ø
WET-STATION(ACID)
Wet-station(KOH)
 
[1][2][3][4][5]¢º