MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
³â ¿ù ÀÏ ¿¡ ´ëÇÑ ¿¹¾à ÇöȲ ÀÔ´Ï´Ù.

 
Microwave Plasma Asher
Multi Sputter
Nanospec
OxfordEtcher(È­ÇÕ¹°)
Parylene coater
PECVD I
PECVD II
RIE I
RIE II
RIE¥²
 
[1][2][3][4][5]