MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
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E-SEM
Electroforming Machine
Electroforming(Cu)
EVG Aligner
EVG wafer bonder
FURNACE 2
Ion Milling
LPCVD3 (LTO)
LPCVD4 (Low Stress Nitride)
LPCVD5(Poly)
 
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