MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
ÃÖ÷´Ü Maskless Aligner ½Å±Ô Àåºñ µµÀÔ ¹× °ø¡¦ fab 24-11-06 1193
¿¹¾à ½ºÄÉÁì ¾È³» fab 24-09-19 1218
[°øÁ¤ »ó´ã ¹× À̿뿡 ´ëÇÑ ¾È³»] fab 17-09-27 15026
23 Silicon Deep Etching (ICP) 6ÀÎÄ¡ °¡´É ¿î¿µÆÀÀå 06-05-25 5006
22 SEM¼¼¹Ì³ª°¡ 5¿ù17ÀÏ ¼ö¿äÀÏ 2½Ã¿¡ ÀÖ½À´Ï´Ù. °ü¸®ÀÚ 06-05-15 4677
21 3¿ù27ÀÏ(¿ù¿äÀÏ)12½ÃºÎÅÍ Å©¸°·ë »ç¿ëÀÌ °¡´ÉÇÕ¡¦ °ü¸®ÀÚ 06-03-27 4785
20 Metal Dry Etching °¡´É (Pt,Au,Cr, Al) PZT Et¡¦ ¿î¿µÆÀÀå 06-03-24 6498
19 3¿ù27ÀÏ(¿ù¿äÀÏ) Àý¿¬ ÃøÁ¤À¸·Î ÀÎÇØ ÆÕ »ç¿ë±Ý¡¦ °ü¸®ÀÚ 06-03-22 4637
18 LPCVD (Low Stress Nitride) ¼ö¸® ¿Ï·á ¿î¿µÆÀÀå 06-03-09 5181
17 AOE Metal ICP °íÀåÀ¸·Î »ç¿ë ºÒ°¡ º¯È£¹Î 06-02-20 4810
16 Furnace ¼ö¸®¿Ï·á º¯È£¹Î 06-02-16 4550
15 1¿ù27ÀÏ(±Ý)ºÎÅÍ30ÀÏ(¿ù)±îÁö ÆÕ »ç¿ë±ÝÁö. °ü¸®ÀÚ 06-01-23 4430
14 1¿ù16ÀÏ Oxford ICP¼ö¸®¿Ï·á °ü¸®ÀÚ 06-01-16 4488
13 Furnace,LPCVD1 Àåºñ¼ö¸®·ÎÀÎÇØ »ç¿ëºÒ°¡ °ü¸®ÀÚ 05-12-30 4693
12 ȸ¿ø´Ôµé²²¼­´Â ¹Ýµå½Ã ¼÷ÁöÇϽñ⠹ٶø´Ï´Ù, Fab ¿î¿µÆÀ¡¦ 05-12-22 5172
11 Fab.¼¾Å͸¦ ÀÌ¿ëÇÏ´Â ¸ðµç ȸ¿ø´Ô²² ¾Ë·Áµå¸³´Ï¡¦ Fab ¿î¿µÆÀ¡¦ 05-12-22 4760
10 KOH Bath ¼ö¸® ¿Ï·á º¯È£¹Î 05-12-06 4857
9 Àåºñ»ç¿ë·á°¡ º¯°æµÇ¾ú½À´Ï´Ù.(È®ÀÎÇϽñ⠹ٶø¡¦ °ü¸®ÀÚ 05-12-05 4867
 
 
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