MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
장비 점검 안내 fab 23-12-01 86
[공정 상담 및 이용에 대한 안내] fab 17-09-27 11532
28 2006년 6월 12일 오전 10시까지 필터 교체 작업… 운영팀장 06-06-12 3897
27 Fab센터 이용자들께,,,(필독) 운영팀장 06-05-25 4268
26 휴무관련 공지 운영팀장 06-05-25 3967
25 LPCVD (Nitride) 장비 관련 공지 운영팀장 06-05-25 4182
24 E-SEM 장비가 Set-up 되었습니다, 운영팀장 06-05-25 5287
23 Silicon Deep Etching (ICP) 6인치 가능 운영팀장 06-05-25 4434
22 SEM세미나가 5월17일 수요일 2시에 있습니다. 관리자 06-05-15 4131
21 3월27일(월요일)12시부터 크린룸 사용이 가능합… 관리자 06-03-27 4173
20 Metal Dry Etching 가능 (Pt,Au,Cr, Al) PZT Et… 운영팀장 06-03-24 5910
19 3월27일(월요일) 절연 측정으로 인해 팹 사용금… 관리자 06-03-22 4078
18 LPCVD (Low Stress Nitride) 수리 완료 운영팀장 06-03-09 4624
17 AOE Metal ICP 고장으로 사용 불가 변호민 06-02-20 4211
16 Furnace 수리완료 변호민 06-02-16 3953
15 1월27일(금)부터30일(월)까지 팹 사용금지. 관리자 06-01-23 3861
14 1월16일 Oxford ICP수리완료 관리자 06-01-16 3926
 
 
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