MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
[°øÁ¤ »ó´ã ¹× ÀÌ¿ë¿¡ ´ëÇÑ ¾È³»] fab 17-09-27 14019
33 SG101 Electroforming System Set-up°ü·Ã °øÁö ¿î¿µÆÀÀå 06-08-30 5445
32 Furnace»ç¿ë°¡´É (¼ö¸®¿Ï·á) °ü¸®ÀÚ 06-08-30 4284
31 Furnace Àåºñ°íÀåÀ¸·Î ÀÎÇØ »ç¿ë±ÝÁö °ü¸®ÀÚ 06-07-31 4736
30 7¿ù15,16ÀÏ(Åä,ÀÏ¿äÀÏ)ÆÕÃâÀÔ±ÝÁö(»ê,À¯±â ¹è°ü¡¦ °ü¸®ÀÚ 06-07-14 4380
29 °øÁö(Çʵ¶)...Notice ¿î¿µÆÀÀå 06-06-15 4430
28 2006³â 6¿ù 12ÀÏ ¿ÀÀü 10½Ã±îÁö ÇÊÅÍ ±³Ã¼ ÀÛ¾÷¡¦ ¿î¿µÆÀÀå 06-06-12 4287
27 Fab¼¾ÅÍ ÀÌ¿ëÀڵ鲲,,,(Çʵ¶) ¿î¿µÆÀÀå 06-05-25 4662
26 ÈÞ¹«°ü·Ã °øÁö ¿î¿µÆÀÀå 06-05-25 4378
25 LPCVD (Nitride) Àåºñ °ü·Ã °øÁö ¿î¿µÆÀÀå 06-05-25 4587
24 E-SEM Àåºñ°¡ Set-up µÇ¾ú½À´Ï´Ù, ¿î¿µÆÀÀå 06-05-25 5684
23 Silicon Deep Etching (ICP) 6ÀÎÄ¡ °¡´É ¿î¿µÆÀÀå 06-05-25 4824
22 SEM¼¼¹Ì³ª°¡ 5¿ù17ÀÏ ¼ö¿äÀÏ 2½Ã¿¡ ÀÖ½À´Ï´Ù. °ü¸®ÀÚ 06-05-15 4508
21 3¿ù27ÀÏ(¿ù¿äÀÏ)12½ÃºÎÅÍ Å©¸°·ë »ç¿ëÀÌ °¡´ÉÇÕ¡¦ °ü¸®ÀÚ 06-03-27 4545
20 Metal Dry Etching °¡´É (Pt,Au,Cr, Al) PZT Et¡¦ ¿î¿µÆÀÀå 06-03-24 6292
19 3¿ù27ÀÏ(¿ù¿äÀÏ) Àý¿¬ ÃøÁ¤À¸·Î ÀÎÇØ ÆÕ »ç¿ë±Ý¡¦ °ü¸®ÀÚ 06-03-22 4461
 
 
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