MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
[필독]KIST 코로나 대응 외부인원 출입안내 fab 20-03-17 153
[공정 상담 및 이용에 대한 안내] fab 17-09-27 4890
54 AOE Etcher 수리완료되었습니다, 운영팀장 07-10-09 3192
53 공조기 점검으로 9월 1일(토)은 Fab 출입을 전… 운영팀장 07-08-16 3087
52 Oxford ICP 수리중입니다. 운영팀장 07-08-16 3315
51 LOT (Low Temp Oxide : SiO2) 장비를 서비스 합… 운영팀장 07-07-20 3314
50 Low Stress Nitride 5인치, 6인치 공정 가능 합… 운영팀장 07-07-20 3532
49 MA6, PECVD 원내요율 변경입니다. 이재순 07-07-06 3228
48 SEM 수리완료 관리자 07-06-26 3304
47 E-SEM 장비고장으로 인해 사용불가 관리자 07-06-20 3476
46 LPCVD(NITRIDE) 장비 사용 가능 운영팀장 07-05-14 3423
45 LPCVD(Nitride) 수리 중입니다, 운영팀장 07-05-02 3740
44 Furnace 6 인치 공정 가능합니다, 운영팀장 07-05-02 3262
43 공지사항(필독) 운영팀장 07-04-24 3101
42 4월 3일 오전 9시~12시까지 Fab센터 누전 측정… 운영팀장 07-03-30 3330
41 Furnace사용가능 (수리완료) 운영팀장 07-03-26 3167
40 LPCVD(Low Stress Nitride) 장비 사용 가능합니… 운영팀장 07-01-22 3744
 
 
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