MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
Explorer ȣȯ¼º ¹®Á¦ ÇØ°á ¾È³» fab 22-05-25 1411
[°øÁ¤ »ó´ã ¹× À̿뿡 ´ëÇÑ ¾È³»] fab 17-09-27 9708
34 9¿ù9ÀÏ Åä¿äÀÏ º¸ÀÏ·¯ Á¡°ËÀ¸·Î ÀÎÇØ ÆÕ¿¡ ÃâÀÔ¡¦ °ü¸®ÀÚ 06-09-05 4019
33 SG101 Electroforming System Set-up°ü·Ã °øÁö ¿î¿µÆÀÀå 06-08-30 4751
32 Furnace»ç¿ë°¡´É (¼ö¸®¿Ï·á) °ü¸®ÀÚ 06-08-30 3585
31 Furnace Àåºñ°íÀåÀ¸·Î ÀÎÇØ »ç¿ë±ÝÁö °ü¸®ÀÚ 06-07-31 3966
30 7¿ù15,16ÀÏ(Åä,ÀÏ¿äÀÏ)ÆÕÃâÀÔ±ÝÁö(»ê,À¯±â ¹è°ü¡¦ °ü¸®ÀÚ 06-07-14 3660
29 °øÁö(Çʵ¶)...Notice ¿î¿µÆÀÀå 06-06-15 3736
28 2006³â 6¿ù 12ÀÏ ¿ÀÀü 10½Ã±îÁö ÇÊÅÍ ±³Ã¼ ÀÛ¾÷¡¦ ¿î¿µÆÀÀå 06-06-12 3605
27 Fab¼¾ÅÍ ÀÌ¿ëÀڵ鲲,,,(Çʵ¶) ¿î¿µÆÀÀå 06-05-25 3933
26 ÈÞ¹«°ü·Ã °øÁö ¿î¿µÆÀÀå 06-05-25 3660
25 LPCVD (Nitride) Àåºñ °ü·Ã °øÁö ¿î¿µÆÀÀå 06-05-25 3860
24 E-SEM Àåºñ°¡ Set-up µÇ¾ú½À´Ï´Ù, ¿î¿µÆÀÀå 06-05-25 4968
23 Silicon Deep Etching (ICP) 6ÀÎÄ¡ °¡´É ¿î¿µÆÀÀå 06-05-25 4101
22 SEM¼¼¹Ì³ª°¡ 5¿ù17ÀÏ ¼ö¿äÀÏ 2½Ã¿¡ ÀÖ½À´Ï´Ù. °ü¸®ÀÚ 06-05-15 3834
21 3¿ù27ÀÏ(¿ù¿äÀÏ)12½ÃºÎÅÍ Å©¸°·ë »ç¿ëÀÌ °¡´ÉÇÕ¡¦ °ü¸®ÀÚ 06-03-27 3872
20 Metal Dry Etching °¡´É (Pt,Au,Cr, Al) PZT Et¡¦ ¿î¿µÆÀÀå 06-03-24 5591
 
 
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