MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
Explorer ȣȯ¼º ¹®Á¦ ÇØ°á ¾È³» fab 22-05-25 1411
[°øÁ¤ »ó´ã ¹× À̿뿡 ´ëÇÑ ¾È³»] fab 17-09-27 9708
19 3¿ù27ÀÏ(¿ù¿äÀÏ) Àý¿¬ ÃøÁ¤À¸·Î ÀÎÇØ ÆÕ »ç¿ë±Ý¡¦ °ü¸®ÀÚ 06-03-22 3745
18 LPCVD (Low Stress Nitride) ¼ö¸® ¿Ï·á ¿î¿µÆÀÀå 06-03-09 4296
17 AOE Metal ICP °íÀåÀ¸·Î »ç¿ë ºÒ°¡ º¯È£¹Î 06-02-20 3907
16 Furnace ¼ö¸®¿Ï·á º¯È£¹Î 06-02-16 3635
15 1¿ù27ÀÏ(±Ý)ºÎÅÍ30ÀÏ(¿ù)±îÁö ÆÕ »ç¿ë±ÝÁö. °ü¸®ÀÚ 06-01-23 3583
14 1¿ù16ÀÏ Oxford ICP¼ö¸®¿Ï·á °ü¸®ÀÚ 06-01-16 3642
13 Furnace,LPCVD1 Àåºñ¼ö¸®·ÎÀÎÇØ »ç¿ëºÒ°¡ °ü¸®ÀÚ 05-12-30 3798
12 ȸ¿ø´Ôµé²²¼­´Â ¹Ýµå½Ã ¼÷ÁöÇϽñ⠹ٶø´Ï´Ù, Fab ¿î¿µÆÀ¡¦ 05-12-22 4205
11 Fab.¼¾Å͸¦ ÀÌ¿ëÇÏ´Â ¸ðµç ȸ¿ø´Ô²² ¾Ë·Áµå¸³´Ï¡¦ Fab ¿î¿µÆÀ¡¦ 05-12-22 3871
10 KOH Bath ¼ö¸® ¿Ï·á º¯È£¹Î 05-12-06 3981
9 Àåºñ»ç¿ë·á°¡ º¯°æµÇ¾ú½À´Ï´Ù.(È®ÀÎÇϽñ⠹ٶø¡¦ °ü¸®ÀÚ 05-12-05 3943
8 AOE Etcher (Metal etching) ¼ö¸® ¿Ï·á º¯È£¹Î 05-12-02 3924
7 ÁÖÀÇ»çÇ×)8½ÃÀÌÈÄ »êbath»ç¿ëÀÚµéÀº ²À Àо¡¦ °ü¸®ÀÚ 05-08-12 4128
6 Çʵ¶) »ê,À¯±â BATH »ç¿ë½Ã ÁÖÀÇ»çÇ× ²À Àо¡¦ °ü¸®ÀÚ 03-09-04 4926
5 WIRE BONDER ¿¹¾à½Ã ÁÖÀÇ»çÇ×(Çʵ¶) ³ë±æ¼± 03-06-05 5660
 
 
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