MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
[°øÁ¤ »ó´ã ¹× ÀÌ¿ë¿¡ ´ëÇÑ ¾È³»] fab 17-09-27 14019
18 LPCVD (Low Stress Nitride) ¼ö¸® ¿Ï·á ¿î¿µÆÀÀå 06-03-09 5007
17 AOE Metal ICP °íÀåÀ¸·Î »ç¿ë ºÒ°¡ º¯È£¹Î 06-02-20 4617
16 Furnace ¼ö¸®¿Ï·á º¯È£¹Î 06-02-16 4366
15 1¿ù27ÀÏ(±Ý)ºÎÅÍ30ÀÏ(¿ù)±îÁö ÆÕ »ç¿ë±ÝÁö. °ü¸®ÀÚ 06-01-23 4274
14 1¿ù16ÀÏ Oxford ICP¼ö¸®¿Ï·á °ü¸®ÀÚ 06-01-16 4321
13 Furnace,LPCVD1 Àåºñ¼ö¸®·ÎÀÎÇØ »ç¿ëºÒ°¡ °ü¸®ÀÚ 05-12-30 4514
12 ȸ¿ø´Ôµé²²¼­´Â ¹Ýµå½Ã ¼÷ÁöÇϽñ⠹ٶø´Ï´Ù, Fab ¿î¿µÆÀ¡¦ 05-12-22 4981
11 Fab.¼¾Å͸¦ ÀÌ¿ëÇÏ´Â ¸ðµç ȸ¿ø´Ô²² ¾Ë·Áµå¸³´Ï¡¦ Fab ¿î¿µÆÀ¡¦ 05-12-22 4584
10 KOH Bath ¼ö¸® ¿Ï·á º¯È£¹Î 05-12-06 4666
9 Àåºñ»ç¿ë·á°¡ º¯°æµÇ¾ú½À´Ï´Ù.(È®ÀÎÇϽñ⠹ٶø¡¦ °ü¸®ÀÚ 05-12-05 4685
8 AOE Etcher (Metal etching) ¼ö¸® ¿Ï·á º¯È£¹Î 05-12-02 4656
7 ÁÖÀÇ»çÇ×)8½ÃÀÌÈÄ »êbath»ç¿ëÀÚµéÀº ²À Àо¡¦ °ü¸®ÀÚ 05-08-12 4832
6 Çʵ¶) »ê,À¯±â BATH »ç¿ë½Ã ÁÖÀÇ»çÇ× ²À Àо¡¦ °ü¸®ÀÚ 03-09-04 5595
5 WIRE BONDER ¿¹¾à½Ã ÁÖÀÇ»çÇ×(Çʵ¶) ³ë±æ¼± 03-06-05 6396
4 ¸ðµç chemicalsÀÇ ½Ç¸íÁ¦¿¡ °üÇѱÛ(Áß¿ä»çÇ×ÀÔ¡¦ °ü¸®ÀÚ 03-04-09 5181
 
 
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