MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
KIST Ãß°èüÀ°´ëȸ Çà»ç ¾È³» 2025.10.17 (±Ý¿ä¡¦ fab 25-10-13 223
ÃÖ÷´Ü Maskless Aligner ½Å±Ô Àåºñ µµÀÔ ¹× °ø¡¦ fab 24-11-06 2353
¿¹¾à ½ºÄÉÁì ¾È³» fab 24-09-19 2153
[°øÁ¤ »ó´ã ¹× À̿뿡 ´ëÇÑ ¾È³»] fab 17-09-27 15898
24 E-SEM Àåºñ°¡ Set-up µÇ¾ú½À´Ï´Ù, ¿î¿µÆÀÀå 06-05-25 5964
23 Silicon Deep Etching (ICP) 6ÀÎÄ¡ °¡´É ¿î¿µÆÀÀå 06-05-25 5119
22 SEM¼¼¹Ì³ª°¡ 5¿ù17ÀÏ ¼ö¿äÀÏ 2½Ã¿¡ ÀÖ½À´Ï´Ù. °ü¸®ÀÚ 06-05-15 4812
21 3¿ù27ÀÏ(¿ù¿äÀÏ)12½ÃºÎÅÍ Å©¸°·ë »ç¿ëÀÌ °¡´ÉÇÕ¡¦ °ü¸®ÀÚ 06-03-27 4897
20 Metal Dry Etching °¡´É (Pt,Au,Cr, Al) PZT Et¡¦ ¿î¿µÆÀÀå 06-03-24 6621
19 3¿ù27ÀÏ(¿ù¿äÀÏ) Àý¿¬ ÃøÁ¤À¸·Î ÀÎÇØ ÆÕ »ç¿ë±Ý¡¦ °ü¸®ÀÚ 06-03-22 4753
18 LPCVD (Low Stress Nitride) ¼ö¸® ¿Ï·á ¿î¿µÆÀÀå 06-03-09 5288
17 AOE Metal ICP °íÀåÀ¸·Î »ç¿ë ºÒ°¡ º¯È£¹Î 06-02-20 4941
16 Furnace ¼ö¸®¿Ï·á º¯È£¹Î 06-02-16 4673
15 1¿ù27ÀÏ(±Ý)ºÎÅÍ30ÀÏ(¿ù)±îÁö ÆÕ »ç¿ë±ÝÁö. °ü¸®ÀÚ 06-01-23 4544
14 1¿ù16ÀÏ Oxford ICP¼ö¸®¿Ï·á °ü¸®ÀÚ 06-01-16 4597
13 Furnace,LPCVD1 Àåºñ¼ö¸®·ÎÀÎÇØ »ç¿ëºÒ°¡ °ü¸®ÀÚ 05-12-30 4814
12 ȸ¿ø´Ôµé²²¼­´Â ¹Ýµå½Ã ¼÷ÁöÇϽñ⠹ٶø´Ï´Ù, Fab ¿î¿µÆÀ¡¦ 05-12-22 5284
11 Fab.¼¾Å͸¦ ÀÌ¿ëÇÏ´Â ¸ðµç ȸ¿ø´Ô²² ¾Ë·Áµå¸³´Ï¡¦ Fab ¿î¿µÆÀ¡¦ 05-12-22 4866
10 KOH Bath ¼ö¸® ¿Ï·á º¯È£¹Î 05-12-06 4962
 
 
   11  12  13  14  15  16  17  
 
  and or