MICRO/NANO FABRICATION
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25-12-01
1594
27
Fab¼¾ÅÍ ÀÌ¿ëÀڵ鲲,,,(Çʵ¶)
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06-05-25
5191
26
ÈÞ¹«°ü·Ã °øÁö
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06-05-25
4881
25
LPCVD (Nitride) Àåºñ °ü·Ã °øÁö
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06-05-25
5156
24
E-SEM Àåºñ°¡ Set-up µÇ¾ú½À´Ï´Ù,
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06-05-25
6210
23
Silicon Deep Etching (ICP) 6ÀÎÄ¡ °¡´É
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06-05-25
5341
22
SEM¼¼¹Ì³ª°¡ 5¿ù17ÀÏ ¼ö¿äÀÏ 2½Ã¿¡ ÀÖ½À´Ï´Ù.
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06-05-15
5066
21
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06-03-27
5116
20
Metal Dry Etching °¡´É (Pt,Au,Cr, Al) PZT Et¡¦
¿î¿µÆÀÀå
06-03-24
6840
19
3¿ù27ÀÏ(¿ù¿äÀÏ) Àý¿¬ ÃøÁ¤À¸·Î ÀÎÇØ ÆÕ »ç¿ë±Ý¡¦
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06-03-22
4969
18
LPCVD (Low Stress Nitride) ¼ö¸® ¿Ï·á
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06-03-09
5496
17
AOE Metal ICP °íÀåÀ¸·Î »ç¿ë ºÒ°¡
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06-02-20
5179
16
Furnace ¼ö¸®¿Ï·á
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06-02-16
4896
15
1¿ù27ÀÏ(±Ý)ºÎÅÍ30ÀÏ(¿ù)±îÁö ÆÕ »ç¿ë±ÝÁö.
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06-01-23
4763
14
1¿ù16ÀÏ Oxford ICP¼ö¸®¿Ï·á
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06-01-16
4832
13
Furnace,LPCVD1 Àåºñ¼ö¸®·ÎÀÎÇØ »ç¿ëºÒ°¡
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05-12-30
5043
11
12
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15
16
17
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