MICRO/NANO FABRICATION
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fab
25-12-01
2300
27
Fab¼¾ÅÍ ÀÌ¿ëÀڵ鲲,,,(Çʵ¶)
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06-05-25
5281
26
ÈÞ¹«°ü·Ã °øÁö
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06-05-25
4968
25
LPCVD (Nitride) Àåºñ °ü·Ã °øÁö
¿î¿µÆÀÀå
06-05-25
5244
24
E-SEM Àåºñ°¡ Set-up µÇ¾ú½À´Ï´Ù,
¿î¿µÆÀÀå
06-05-25
6290
23
Silicon Deep Etching (ICP) 6ÀÎÄ¡ °¡´É
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06-05-25
5427
22
SEM¼¼¹Ì³ª°¡ 5¿ù17ÀÏ ¼ö¿äÀÏ 2½Ã¿¡ ÀÖ½À´Ï´Ù.
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06-05-15
5149
21
3¿ù27ÀÏ(¿ù¿äÀÏ)12½ÃºÎÅÍ Å©¸°·ë »ç¿ëÀÌ °¡´ÉÇÕ¡¦
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06-03-27
5197
20
Metal Dry Etching °¡´É (Pt,Au,Cr, Al) PZT Et¡¦
¿î¿µÆÀÀå
06-03-24
6925
19
3¿ù27ÀÏ(¿ù¿äÀÏ) Àý¿¬ ÃøÁ¤À¸·Î ÀÎÇØ ÆÕ »ç¿ë±Ý¡¦
°ü¸®ÀÚ
06-03-22
5052
18
LPCVD (Low Stress Nitride) ¼ö¸® ¿Ï·á
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06-03-09
5586
17
AOE Metal ICP °íÀåÀ¸·Î »ç¿ë ºÒ°¡
º¯È£¹Î
06-02-20
5265
16
Furnace ¼ö¸®¿Ï·á
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06-02-16
4990
15
1¿ù27ÀÏ(±Ý)ºÎÅÍ30ÀÏ(¿ù)±îÁö ÆÕ »ç¿ë±ÝÁö.
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06-01-23
4852
14
1¿ù16ÀÏ Oxford ICP¼ö¸®¿Ï·á
°ü¸®ÀÚ
06-01-16
4940
13
Furnace,LPCVD1 Àåºñ¼ö¸®·ÎÀÎÇØ »ç¿ëºÒ°¡
°ü¸®ÀÚ
05-12-30
5141
11
12
13
14
15
16
17
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