MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
[°øÁ¤ »ó´ã ¹× ÀÌ¿ë¿¡ ´ëÇÑ ¾È³»] fab 17-09-27 12354
46 LPCVD(NITRIDE) Àåºñ »ç¿ë °¡´É ¿î¿µÆÀÀå 07-05-14 4536
45 LPCVD(Nitride) ¼ö¸® ÁßÀÔ´Ï´Ù, ¿î¿µÆÀÀå 07-05-02 4826
44 Furnace 6 ÀÎÄ¡ °øÁ¤ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù, ¿î¿µÆÀÀå 07-05-02 4377
43 °øÁö»çÇ×(Çʵ¶) ¿î¿µÆÀÀå 07-04-24 4161
42 4¿ù 3ÀÏ ¿ÀÀü 9½Ã~12½Ã±îÁö Fab¼¾ÅÍ ´©Àü ÃøÁ¤¡¦ ¿î¿µÆÀÀå 07-03-30 4346
41 Furnace»ç¿ë°¡´É (¼ö¸®¿Ï·á) ¿î¿µÆÀÀå 07-03-26 4215
40 LPCVD(Low Stress Nitride) Àåºñ »ç¿ë °¡´ÉÇÕ´Ï¡¦ ¿î¿µÆÀÀå 07-01-22 4898
39 Furnace »ç¿ë ºÒ´É ¿î¿µÆÀÀå 07-01-17 4666
38 RIE/PECVD »ç¿ë¾È³» ¿î¿µÆÀÀå 06-12-11 5571
37 (Çʵ¶) °øÁö»çÇ× ¿î¿µÆÀÀå 06-11-02 4454
36 (Çʵ¶) ¾ÈÀü °ü·Ã °øÁö»çÇ× ¿î¿µÆÀÀå 06-10-17 4404
35 Ãß¼®¿¬ÈÞ ÈÞ¹«°ü·Ã °øÁö»çÇ× ¿î¿µÆÀÀå 06-09-28 4187
34 9¿ù9ÀÏ Åä¿äÀÏ º¸ÀÏ·¯ Á¡°ËÀ¸·Î ÀÎÇØ ÆÕ¿¡ ÃâÀÔ¡¦ °ü¸®ÀÚ 06-09-05 4536
33 SG101 Electroforming System Set-up°ü·Ã °øÁö ¿î¿µÆÀÀå 06-08-30 5258
32 Furnace»ç¿ë°¡´É (¼ö¸®¿Ï·á) °ü¸®ÀÚ 06-08-30 4100
 
 
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