MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
[필독]KIST 코로나 대응 외부인원 출입안내 fab 20-03-17 153
[공정 상담 및 이용에 대한 안내] fab 17-09-27 4889
24 E-SEM 장비가 Set-up 되었습니다, 운영팀장 06-05-25 4477
23 Silicon Deep Etching (ICP) 6인치 가능 운영팀장 06-05-25 3610
22 SEM세미나가 5월17일 수요일 2시에 있습니다. 관리자 06-05-15 3371
21 3월27일(월요일)12시부터 크린룸 사용이 가능합… 관리자 06-03-27 3380
20 Metal Dry Etching 가능 (Pt,Au,Cr, Al) PZT Et… 운영팀장 06-03-24 4626
19 3월27일(월요일) 절연 측정으로 인해 팹 사용금… 관리자 06-03-22 3279
18 LPCVD (Low Stress Nitride) 수리 완료 운영팀장 06-03-09 3804
17 AOE Metal ICP 고장으로 사용 불가 변호민 06-02-20 3305
16 Furnace 수리완료 변호민 06-02-16 3144
15 1월27일(금)부터30일(월)까지 팹 사용금지. 관리자 06-01-23 3113
14 1월16일 Oxford ICP수리완료 관리자 06-01-16 3153
13 Furnace,LPCVD1 장비수리로인해 사용불가 관리자 05-12-30 3243
12 회원님들께서는 반드시 숙지하시기 바랍니다, Fab 운영팀… 05-12-22 3530
11 Fab.센터를 이용하는 모든 회원님께 알려드립니… Fab 운영팀… 05-12-22 3356
10 KOH Bath 수리 완료 변호민 05-12-06 3300
 
 
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