MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
[°øÁ¤ »ó´ã ¹× ÀÌ¿ë¿¡ ´ëÇÑ ¾È³»] fab 17-09-27 12239
31 Furnace Àåºñ°íÀåÀ¸·Î ÀÎÇØ »ç¿ë±ÝÁö °ü¸®ÀÚ 06-07-31 4505
30 7¿ù15,16ÀÏ(Åä,ÀÏ¿äÀÏ)ÆÕÃâÀÔ±ÝÁö(»ê,À¯±â ¹è°ü¡¦ °ü¸®ÀÚ 06-07-14 4184
29 °øÁö(Çʵ¶)...Notice ¿î¿µÆÀÀå 06-06-15 4229
28 2006³â 6¿ù 12ÀÏ ¿ÀÀü 10½Ã±îÁö ÇÊÅÍ ±³Ã¼ ÀÛ¾÷¡¦ ¿î¿µÆÀÀå 06-06-12 4093
27 Fab¼¾ÅÍ ÀÌ¿ëÀڵ鲲,,,(Çʵ¶) ¿î¿µÆÀÀå 06-05-25 4485
26 ÈÞ¹«°ü·Ã °øÁö ¿î¿µÆÀÀå 06-05-25 4167
25 LPCVD (Nitride) Àåºñ °ü·Ã °øÁö ¿î¿µÆÀÀå 06-05-25 4380
24 E-SEM Àåºñ°¡ Set-up µÇ¾ú½À´Ï´Ù, ¿î¿µÆÀÀå 06-05-25 5476
23 Silicon Deep Etching (ICP) 6ÀÎÄ¡ °¡´É ¿î¿µÆÀÀå 06-05-25 4631
22 SEM¼¼¹Ì³ª°¡ 5¿ù17ÀÏ ¼ö¿äÀÏ 2½Ã¿¡ ÀÖ½À´Ï´Ù. °ü¸®ÀÚ 06-05-15 4319
21 3¿ù27ÀÏ(¿ù¿äÀÏ)12½ÃºÎÅÍ Å©¸°·ë »ç¿ëÀÌ °¡´ÉÇÕ¡¦ °ü¸®ÀÚ 06-03-27 4358
20 Metal Dry Etching °¡´É (Pt,Au,Cr, Al) PZT Et¡¦ ¿î¿µÆÀÀå 06-03-24 6106
19 3¿ù27ÀÏ(¿ù¿äÀÏ) Àý¿¬ ÃøÁ¤À¸·Î ÀÎÇØ ÆÕ »ç¿ë±Ý¡¦ °ü¸®ÀÚ 06-03-22 4269
18 LPCVD (Low Stress Nitride) ¼ö¸® ¿Ï·á ¿î¿µÆÀÀå 06-03-09 4798
17 AOE Metal ICP °íÀåÀ¸·Î »ç¿ë ºÒ°¡ º¯È£¹Î 06-02-20 4406
 
 
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