LOT (Low Temp Oxide : SiO2) 장비를 서비스 합니다.     2007-07-20   5,407     LOT LPCVD 장비를 설치하여 서비스하고 있으니 많은 이용바랍니다, 450도 공정이며, 1 BATCH에 25장 (4인치) 가능합니다.       Oxford ICP 수리중입니다.   Low Stress Nitride 5인치, 6인치 공정 가능 합니다.