MICRO/NANO FABRICATION
Oxford ICP ¼ö¸®ÁßÀÔ´Ï´Ù.
2007-08-16
4,369
Fab¼¾ÅÍ ¿î¿µÆÀÀåÀÔ´Ï´Ù,
ÀúÈñ°¡ º¸À¯ÁßÀÎ Oxford ICPÀÇ Control PC°¡ DownµÇ¾î ¼ö¸® ÁßÀÔ´Ï´Ù,
°øÁ¶±â Á¡°ËÀ¸·Î 9¿ù 1ÀÏ(Åä)Àº Fab ÃâÀÔÀ» Àü¸é ÅëÁ¦ÇÕ´Ï´Ù,
LOT (Low Temp Oxide : SiO2) Àåºñ¸¦ ¼ºñ½º ÇÕ´Ï´Ù.