MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
 
    Oxford ICP ¼ö¸®ÁßÀÔ´Ï´Ù.
    2007-08-16   4,369
   
 
  Fab¼¾ÅÍ ¿î¿µÆÀÀåÀÔ´Ï´Ù,
ÀúÈñ°¡ º¸À¯ÁßÀÎ Oxford ICPÀÇ Control PC°¡ DownµÇ¾î ¼ö¸® ÁßÀÔ´Ï´Ù,
 
 
  °øÁ¶±â Á¡°ËÀ¸·Î 9¿ù 1ÀÏ(Åä)Àº Fab ÃâÀÔÀ» Àü¸é ÅëÁ¦ÇÕ´Ï´Ù,
  LOT (Low Temp Oxide : SiO2) Àåºñ¸¦ ¼­ºñ½º ÇÕ´Ï´Ù.