MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
 
    Low Stress Nitride 5ÀÎÄ¡, 6ÀÎÄ¡ °øÁ¤ °¡´É ÇÕ´Ï´Ù.
    2007-07-20   4,599
   
 
  5ÀÎÄ¡ 6ÀÎÄ¡ WAFERÀ§¿¡ Low Stress Nitride¸¦ ÁõÂøÇÏ°í ½ÍÀººÐÀº ÀÇ·Ú ¹Ù¶ø´Ï´Ù,

Batch °¡´É wafer Å©±â ¹× Àå¼ö
1) 4ÀÎÄ¡ : 25Àå
2) 5ÀÌÄ¡ : 10Àå
3) 6ÀÎÄ¡ : 4Àå °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.
 
 
  LOT (Low Temp Oxide : SiO2) Àåºñ¸¦ ¼­ºñ½º ÇÕ´Ï´Ù.
  MA6, PECVD ¿ø³»¿äÀ² º¯°æÀÔ´Ï´Ù.