MICRO/NANO FABRICATION
Low Stress Nitride 5ÀÎÄ¡, 6ÀÎÄ¡ °øÁ¤ °¡´É ÇÕ´Ï´Ù.
2007-07-20
4,599
5ÀÎÄ¡ 6ÀÎÄ¡ WAFERÀ§¿¡ Low Stress Nitride¸¦ ÁõÂøÇÏ°í ½ÍÀººÐÀº ÀÇ·Ú ¹Ù¶ø´Ï´Ù,
Batch °¡´É wafer Å©±â ¹× Àå¼ö
1) 4ÀÎÄ¡ : 25Àå
2) 5ÀÌÄ¡ : 10Àå
3) 6ÀÎÄ¡ : 4Àå °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.
LOT (Low Temp Oxide : SiO2) Àåºñ¸¦ ¼ºñ½º ÇÕ´Ï´Ù.
MA6, PECVD ¿ø³»¿äÀ² º¯°æÀÔ´Ï´Ù.