MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
[공정 상담 및 이용에 대한 안내] fab 17-09-27 4741
53 공조기 점검으로 9월 1일(토)은 Fab 출입을 전… 운영팀장 07-08-16 3061
52 Oxford ICP 수리중입니다. 운영팀장 07-08-16 3288
51 LOT (Low Temp Oxide : SiO2) 장비를 서비스 합… 운영팀장 07-07-20 3292
50 Low Stress Nitride 5인치, 6인치 공정 가능 합… 운영팀장 07-07-20 3507
49 MA6, PECVD 원내요율 변경입니다. 이재순 07-07-06 3197
48 SEM 수리완료 관리자 07-06-26 3276
47 E-SEM 장비고장으로 인해 사용불가 관리자 07-06-20 3448
46 LPCVD(NITRIDE) 장비 사용 가능 운영팀장 07-05-14 3387
45 LPCVD(Nitride) 수리 중입니다, 운영팀장 07-05-02 3707
44 Furnace 6 인치 공정 가능합니다, 운영팀장 07-05-02 3235
43 공지사항(필독) 운영팀장 07-04-24 3071
42 4월 3일 오전 9시~12시까지 Fab센터 누전 측정… 운영팀장 07-03-30 3305
41 Furnace사용가능 (수리완료) 운영팀장 07-03-26 3137
40 LPCVD(Low Stress Nitride) 장비 사용 가능합니… 운영팀장 07-01-22 3718
39 Furnace 사용 불능 운영팀장 07-01-17 3485
 
 
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