MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
 
    MA6, PECVD ¿ø³»¿äÀ² º¯°æÀÔ´Ï´Ù.
    2007-07-06   4,641
   
 
  2007³â 7¿ùºÎÅÍ º¯°æµÈ ¿äÀ²·Î Àû¿ëµË´Ï´Ù

MA6 : ÇÁ·ÐƼ¾î 5,000¿ø/Àå --> 10,000¿ø/Àå
        ¿ø      ³» 10, 000¿ø/Àå --> 15,000¿ø/Àå

PECVD :  ÇÁ·ÐƼ¾î 25,000¿ø/ȸ --> 30,000¿ø/ȸ
 
 
  Low Stress Nitride 5ÀÎÄ¡, 6ÀÎÄ¡ °øÁ¤ °¡´É ÇÕ´Ï´Ù.
  SEM ¼ö¸®¿Ï·á