MICRO/NANO FABRICATION
MA6, PECVD ¿ø³»¿äÀ² º¯°æÀÔ´Ï´Ù.
2007-07-06
4,641
2007³â 7¿ùºÎÅÍ º¯°æµÈ ¿äÀ²·Î Àû¿ëµË´Ï´Ù
MA6 : ÇÁ·ÐƼ¾î 5,000¿ø/Àå --> 10,000¿ø/Àå
¿ø ³» 10, 000¿ø/Àå --> 15,000¿ø/Àå
PECVD : ÇÁ·ÐƼ¾î 25,000¿ø/ȸ --> 30,000¿ø/ȸ
Low Stress Nitride 5ÀÎÄ¡, 6ÀÎÄ¡ °øÁ¤ °¡´É ÇÕ´Ï´Ù.
SEM ¼ö¸®¿Ï·á