MICRO/NANO FABRICATION
RIE I Àåºñ Á¤»ó ¾È³»
2017-08-23
5,338
RIE I Àåºñ´Â Á¡°Ë ¿Ï·áµÇ¾î °øÁ¤¼ºñ½º¸¦ ÁøÇàÇÏ¿À´Ï
Àåºñ ¿¹¾à ºÎŹµå¸³´Ï´Ù.
RIE II Àåºñ´Â Á¡°Ë, ¼ö¸® ÁøÇàÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç
Àåºñ Á¤»óÈ ÈÄ Àç°øÁö ÇÏ°Ú½À´Ï´Ù.
PECVD II Àåºñ Á¡°Ë
ÆÕ¼¾ÅÍ ÃâÀÔ Á¦ÇÑ ¾È³»