MICRO/NANO FABRICATION
RIE¥± Àåºñ Gate Valve ¼ö¸® ÁßÀÔ´Ï´Ù.
2009-10-09
5,292
AV RIE ¼ö¸® ÁßÀÔ´Ï´Ù.
¹®ÀÇÀüÈ : 6318
Oxford ICP Àåºñ Á¡°Ë ÁßÀÔ´Ï´Ù.
E-Beam lithography °øÁ¤¼ºñ½º ½ÃÀÛ