MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
 
    E-Beam lithography °øÁ¤¼­ºñ½º ½ÃÀÛ
    2009-08-25   6,673
   
 
  E-Beam lithography Àåºñ°¡ set-up ¿Ï·áµÇ¾î
°øÁ¤¼­ºñ½º°¡ ½ÃÀ۵Ǿú½À´Ï´Ù.

¸¹Àº ÀÌ¿ë ºÎŹµå¸³´Ï´Ù.
 
 
  RIE¥± Àåºñ Gate Valve ¼ö¸® ÁßÀÔ´Ï´Ù.
  Oxford ICP ¼ö¸® ¿Ï·áµÇ¾ú½À´Ï´Ù.