MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
 
    고진공 Multi Sputter 설치 완료
    2009-03-13   5,277
   
 
  운영팀장 변호민입니다.

일본 ULVAC 사의 SME-200E 고진공 Multi Sputter 가 설치완료 되었습니다.
가능 metal Ai, Cr, Cu, Ta2O5, Pt, Ti 입니다.
조각에서 부터 8인치까지 Loading 가능합니다.
많은 이용바랍니다.

문의전화 :02-958-6315,6318
 
 
  4월 11일(토) Fab 출입금지
  (필독) 절연측정으로 Fab 사용 일시 중단