MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
 
    LPCVD(NITRIDE) 장비 사용 가능
    2007-05-14   3,698
   
 
  LPCVD (Nitride) 장비의 DRY PUMP Overhaul이 완료되어 장비 사용이 가능합니다,
 
 
  E-SEM 장비고장으로 인해 사용불가
  LPCVD(Nitride) 수리 중입니다,