MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
 
    Low Stress Nitride 5인치, 6인치 공정 가능 합니다.
    2007-07-20   3,793
   
 
  5인치 6인치 WAFER위에 Low Stress Nitride를 증착하고 싶은분은 의뢰 바랍니다,

Batch 가능 wafer 크기 및 장수
1) 4인치 : 25장
2) 5이치 : 10장
3) 6인치 : 4장 가능합니다.
 
 
  LOT (Low Temp Oxide : SiO2) 장비를 서비스 합니다.
  MA6, PECVD 원내요율 변경입니다.