MICRO/NANO FABRICATION
[ RIE II Àåºñ ]Á¡°Ë¾È³»
2021-06-09
1,942
Fab¼¾ÅÍ RIE II 6.9~6.16 Àåºñ Á¡°ËÀ¸·Î ÀÎÇØ
ÇØ´ç Àåºñ´Â »ç¿ëÀÌ ºÒ°¡ÇÑ Á¡ ¾È³»ÇØ µå¸³´Ï´Ù.
ºÒÆíÀ» µå·Á Á˼ÛÇÕ´Ï´Ù.
- Fab¼¾ÅÍ °ü¸®ÀÚ -
À¯È޽þà ÀÏÁ¦ Á¤¸®
RIE 3 Àåºñ Á¡°Ë