MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
 
    설비 점검 및 장비 점검
    2021-04-06   505
   
 
  설비 및 장비 점검이 있을 예정입니다.
이에 따라 Fab 일부 장비 점검이 있을 예정이오니
이점 참고 하시길 바랍니다.
장비 점검 항목에 따라 일부 공정 외뢰가 불가 합니다.
( E-Beam,Multi Sputter,Deep Trench RIE,M2000 Laser,PECVD)
점검 일시 21.4.7~4.9
 
 
  RIE 3 장비 점검
  설연휴 출입 제한 안내