MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
 
    ¼³ºñ Á¡°Ë ¹× Àåºñ Á¡°Ë
    2021-04-06   1,947
   
 
  ¼³ºñ ¹× Àåºñ Á¡°ËÀÌ ÀÖÀ» ¿¹Á¤ÀÔ´Ï´Ù.
ÀÌ¿¡ µû¶ó Fab ÀϺΠÀåºñ Á¡°ËÀÌ ÀÖÀ» ¿¹Á¤ÀÌ¿À´Ï
ÀÌÁ¡ Âü°í ÇÏ½Ã±æ ¹Ù¶ø´Ï´Ù.
Àåºñ Á¡°Ë Ç׸ñ¿¡ µû¶ó ÀϺΠ°øÁ¤ ¿Ü·Ú°¡ ºÒ°¡ ÇÕ´Ï´Ù.
( E-Beam,Multi Sputter,Deep Trench RIE,M2000 Laser,PECVD)
Á¡°Ë ÀϽà 21.4.7~4.9
 
 
  RIE 3 Àåºñ Á¡°Ë
  ¼³¿¬ÈÞ ÃâÀÔ Á¦ÇÑ ¾È³»