MICRO/NANO FABRICATION
RIE3 Á¡°Ë¾È³»
2018-03-06
6,080
PECVD 1 2 Àåºñ Á¡°Ë ÈÄ Á¤»ó°¡µ¿µÇ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
RIE3 Àåºñ´Â Á¡°ËÁßÀÔ´Ï´Ù.
[ÈÞ¹«ÀÏ ¾È³»]_¼®°¡Åº½ÅÀÏ
±Ù·ÎÀÚÀÇ ³¯ ÃâÀÔÁ¦ÇÑ