MICRO/NANO FABRICATION
PECVD II Àåºñ Á¡°Ë
2017-09-20
5,452
PECVD II Àåºñ Á¡°ËÀ¸·Î °øÁ¤¼ºñ½º´Â
´çºÐ°£ ÁøÇàÇÏÁö ¸øÇÏ¿À´Ï ÀÌÁ¡ ¾çÇØ ºÎŹµå¸®¸ç
Àåºñ Á¤»óÈ ÈÄ Àç°øÁö ÇÏ°Ú½À´Ï´Ù.
PECVD II Àåºñ ¼ºñ½º ÁøÇà
RIE I Àåºñ Á¤»ó ¾È³»