MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
 
    RIE I Àåºñ Á¤»ó ¾È³»
    2017-08-23   5,334
   
 
  RIE I Àåºñ´Â Á¡°Ë ¿Ï·áµÇ¾î °øÁ¤¼­ºñ½º¸¦ ÁøÇàÇÏ¿À´Ï

Àåºñ ¿¹¾à ºÎŹµå¸³´Ï´Ù.

RIE II Àåºñ´Â Á¡°Ë, ¼ö¸® ÁøÇàÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç

Àåºñ Á¤»óÈ­ ÈÄ Àç°øÁö ÇÏ°Ú½À´Ï´Ù.
 
 
  PECVD II Àåºñ Á¡°Ë
  ÆÕ¼¾ÅÍ ÃâÀÔ Á¦ÇÑ ¾È³»