MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
 
    ÆÕ¼¾ÅÍ ÃâÀÔ Á¦ÇÑ ¾È³»
    2017-08-04   4,662
   
 
  *
 ÇÑÀüÃø ¿¹°íÁ¤Àü(¼ø°£)À¸·Î °øÁ¤Àåºñ Àü¿øÀ» Â÷´ÜÇÏ¿©
 °øÁ¤ ¼­ºñ½º°¡ ¾ÈµÇ¸ç, ÃâÀÔ ¹× ¿¹¾àÀ» Á¦ÇÑÇÕ´Ï´Ù.
 ÀÌÁ¡ ¾çÇØ ºÎŹµå¸³´Ï´Ù.
 
 ÃâÀÔ Á¦ÇÑ ÀϽÃ
 2017³â 8¿ù 4ÀÏ(±Ý) 15½Ã 30ºÐ ºÎÅÍ
 
 
  RIE I Àåºñ Á¤»ó ¾È³»
  PECVD II Àåºñ Á¤»ó ¾È³»