MICRO/NANO FABRICATION
ÆÕ¼¾ÅÍ ÃâÀÔ Á¦ÇÑ ¾È³»
2017-08-04
4,712
*
ÇÑÀüÃø ¿¹°íÁ¤Àü(¼ø°£)À¸·Î °øÁ¤Àåºñ Àü¿øÀ» Â÷´ÜÇÏ¿©
°øÁ¤ ¼ºñ½º°¡ ¾ÈµÇ¸ç, ÃâÀÔ ¹× ¿¹¾àÀ» Á¦ÇÑÇÕ´Ï´Ù.
ÀÌÁ¡ ¾çÇØ ºÎŹµå¸³´Ï´Ù.
ÃâÀÔ Á¦ÇÑ ÀϽÃ
2017³â 8¿ù 4ÀÏ(±Ý) 15½Ã 30ºÐ ºÎÅÍ
RIE I Àåºñ Á¤»ó ¾È³»
PECVD II Àåºñ Á¤»ó ¾È³»