MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
 
    PECVD II Àåºñ Á¤»ó ¾È³»
    2017-07-31   4,869
   
 
  PECVD II Àåºñ´Â Á¡°Ë ¿Ï·áµÇ¾î °øÁ¤¼­ºñ½º¸¦ ÁøÇàÇÏ¿À´Ï

Àåºñ ¿¹¾à ºÎŹµå¸³´Ï´Ù.

PECVD I, RIE I Àåºñ´Â Á¡°Ë, ¼ö¸® ÁøÇàÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç

Àåºñ Á¤»óÈ­ ÈÄ Àç°øÁö ÇÏ°Ú½À´Ï´Ù.
 
 
  ÆÕ¼¾ÅÍ ÃâÀÔ Á¦ÇÑ ¾È³»
  PECVD I, II , RIE I Á¡°Ë ¾È³»