MICRO/NANO FABRICATION
PECVD II Àåºñ Á¤»ó ¾È³»
2017-07-31
4,869
PECVD II Àåºñ´Â Á¡°Ë ¿Ï·áµÇ¾î °øÁ¤¼ºñ½º¸¦ ÁøÇàÇÏ¿À´Ï
Àåºñ ¿¹¾à ºÎŹµå¸³´Ï´Ù.
PECVD I, RIE I Àåºñ´Â Á¡°Ë, ¼ö¸® ÁøÇàÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç
Àåºñ Á¤»óÈ ÈÄ Àç°øÁö ÇÏ°Ú½À´Ï´Ù.
ÆÕ¼¾ÅÍ ÃâÀÔ Á¦ÇÑ ¾È³»
PECVD I, II , RIE I Á¡°Ë ¾È³»