MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
 
    LPCVD(LTO, Low Stress Nitride) 장비점검 안내
    2012-01-16   3,880
   
 
  LPCVD(LTO, Low Stress Nitride) 장비 점검으로 인하여 사용이 불가능합니다.


☞ 기간 : 1월 16일(월) ~ 2월 3일(금)

사용자분들의 양해 부탁드립니다.
 
 
  3월 8일(목) 공조기 점검안내
  1월 20일(금) 공조기 점검안내