MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
 
    E-Beam ¼Ò½º(Pt, Au) ¿î¿µ¹æ½Ä º¯°æ
    2011-05-04   6,244
     E-Beam ¼Ò½º(Pt, Au)¿î¿µ ¹æ½Ä º¯°æ(110504).hwp (27.0K)
 
  E-Beam Evaporator Àåºñ¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ±Ý¼Ó ÁõÂø °øÁ¤ Áß °í°¡ÀÇ ¼Ò½º(Pt, Au)¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¿© ÁõÂøÇÏ´Â °øÁ¤¿¡¼­ ¼Ò½º °¡°ÝÀÇ Áö¼ÓÀûÀÎ »ó½ÂÀ¸·Î ÀÎÇÏ¿© ¿î¿µ ¹æ½ÄÀ» ÀÇ·ÚÀÚ°¡ ÁغñÇؼ­ Á¦°øÇÏ´Â ¹æ½ÄÀ¸·Î º¯°æÇÏ°íÀÚ ÇÕ´Ï´Ù.

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