MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
 
    RIE¥± Àåºñ Gate Valve ¼ö¸® ÁßÀÔ´Ï´Ù.
    2009-10-09   5,088
   
 
  AV RIE ¼ö¸® ÁßÀÔ´Ï´Ù.
¹®ÀÇÀüÈ­ : 6318
 
 
  Oxford ICP Àåºñ Á¡°Ë ÁßÀÔ´Ï´Ù.
  E-Beam lithography °øÁ¤¼­ºñ½º ½ÃÀÛ