고진공 Multi Sputter 설치 완료     2009-03-13   5,833     운영팀장 변호민입니다. 일본 ULVAC 사의 SME-200E 고진공 Multi Sputter 가 설치완료 되었습니다. 가능 metal Ai, Cr, Cu, Ta2O5, Pt, Ti 입니다. 조각에서 부터 8인치까지 Loading 가능합니다. 많은 이용바랍니다. 문의전화 :02-958-6315,6318       4월 11일(토) Fab 출입금지   (필독) 절연측정으로 Fab 사용 일시 중단