MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
 
    (Çʵ¶) Fab.¼¾ÅÍ Àåºñ Á¡°Ë ¹× ¼³ºñ Á¡°Ë
    2008-10-27   5,509
   
 
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11¿ù 13ÀÏ(¸ñ) ¿ÀÀü 12½ÃºÎÅÍ 14ÀÏ(±Ý) ¿ÀÈÄ 7½Ã±îÁö Àåºñ ¹× ¼³ºñ Á¡°ËÀ» ½Ç½ÃÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ï Fab.¼¾Å͸¦ ÀÌ¿ëÇϽǼö ¾ø½À´Ï´Ù.

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  (Çʵ¶) 11¿ù 13ÀÏ,14ÀÏ ¿ÜºÎ °øÁ¤ ¼­ºñ½º¸¦ ÁßÁöÇÕ´Ï´Ù.
  E-Beam, E-SEM °¡°Ýº¯°æ ¾È³»