MICRO/NANO FABRICATION
E-Beam, E-SEM °¡°Ýº¯°æ ¾È³»
2008-10-08
6,982
¿Ã 3¿ù¿¡ ¿¹°íÇØ µå¸°¹Ù¿Í °°ÀÌ ±Ý°ªÀÇ °è¼ÓÀûÀÎ »ó½ÂÀ¸·Î ÀÎÇÏ¿© 2008³â 10¿ù ºÎÅÍ Au, Pt »ç¿ë¿ä±ÝÀ» 2¸¸¿ø¾¿ Àλó ÇÕ´Ï´Ù.
E-SEM Àº »ç¿ë¿ä±ÝÀ» ´ëÆø ÀÎÇÏ ÇÏ¿À´Ï ¾ÕÀ¸·Î ¸¹Àº ÀÌ¿ë ºÎŹµå¸³´Ï´Ù.
(Çʵ¶) Fab.¼¾ÅÍ Àåºñ Á¡°Ë ¹× ¼³ºñ Á¡°Ë
M-2000 Laser Àåºñ ¼ö¸®ÁßÀÔ´Ï´Ù.