MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
 
    E-Beam, E-SEM °¡°Ýº¯°æ ¾È³»
    2008-10-08   6,981
   
 
  ¿Ã 3¿ù¿¡ ¿¹°íÇØ µå¸°¹Ù¿Í °°ÀÌ ±Ý°ªÀÇ °è¼ÓÀûÀÎ »ó½ÂÀ¸·Î ÀÎÇÏ¿© 2008³â 10¿ù ºÎÅÍ Au, Pt »ç¿ë¿ä±ÝÀ» 2¸¸¿ø¾¿ Àλó ÇÕ´Ï´Ù.


E-SEM Àº »ç¿ë¿ä±ÝÀ» ´ëÆø ÀÎÇÏ ÇÏ¿À´Ï ¾ÕÀ¸·Î ¸¹Àº ÀÌ¿ë ºÎŹµå¸³´Ï´Ù.
 
 
  (Çʵ¶) Fab.¼¾ÅÍ Àåºñ Á¡°Ë ¹× ¼³ºñ Á¡°Ë
  M-2000 Laser Àåºñ ¼ö¸®ÁßÀÔ´Ï´Ù.