MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
 
    Çʵ¶) »ê,À¯±â BATH »ç¿ë½Ã ÁÖÀÇ»çÇ× ²À Àо¼¼¿ä
    2003-09-04   5,381
   
 
  »ê,À¯±â bath ¸¦ »ç¿ëÇϽǶ§ µÞÁ¤¸®¸¦ ²À ÇϽʽÿä.
ÀúÈñ´Â »ç¿ëÀÚ°¡ ³²±â°í°£ ¿ë¾×ÀÌ ¹«¾ùÀÎÁö ¾Ë¼ö¾ø½À´Ï´Ù. ÀÚ½ÅÀÌ ¾´ ¿ë±â´Â ÀÚ½ÅÀÌ Á¤¸®ÇϽʽÿä.
°ü¸®ÆÀÀº ¾Æħ8½Ã40ºÐ¿¡ bath¸¦ Á¤¸®ÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
À̽𣿡 bath¾È¿¡´Â ¾î¶² ¾àÇ°À̳ª ¾àÇ°º´µµ ³Ö¾î³õÁö¸¶½Ê½Ã¿ä. ÀüºÎ Æó±âÇÒ°ÍÀÔ´Ï´Ù. bath¾È¿¡¼­ ºÎµæÀÌ ¾Æħ±îÁö °øÁ¤À» ÁøÇàÇؾßÇÏ¸é ²À ÀÛ¾÷³»¿ë°ú À̸§À» ³²±â½Ê½Ã¿ä. ijºñ³Ý ¹Û¿¡³ª¿ÍÀÖ´Â ¾àÇ°µµ ÀüºÎ Æó±âÇÒ°ÍÀÔ´Ï´Ù. ±ÍÂú´õ¶óµµ ¾²°í³ª¸é ²À ijºñ³Ý¿¡ ³Ö¾îµÎ°í ÆÕÀ» ³ª¿À½Ê½Ã¿ä. ¹°·Ð ½Ç¸í°ú ¾àÇ°À̸§ÀÌ ¾ÈÀûÇôÀÖ´Â ¾àÇ°º´µµ ÀüºÎ Æó±âÇÒ°ÍÀÔ´Ï´Ù.
¿©·¯ºÐÀÇ ¾ÈÀüÀ» À§ÇÑ Á¶Ä¡À̹ǷΠ¾çÇØÇØÁֽñ⠹ٶø´Ï´Ù. ¹®ÀÇ 6318
 
 
  ÁÖÀÇ»çÇ×)8½ÃÀÌÈÄ »êbath»ç¿ëÀÚµéÀº ²À Àо¼¼¿ä
  WIRE BONDER ¿¹¾à½Ã ÁÖÀÇ»çÇ×(Çʵ¶)