MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
 
    Fab.¼¾Å͸¦ ÀÌ¿ëÇÏ´Â ¸ðµç ȸ¿ø´Ô²² ¾Ë·Áµå¸³´Ï´Ù,
    2005-12-22   4,388
   
 
  ¾È³çÇϽʴϱî.
micro-nano fab ¼¾ÅÍ ¿î¿µÆÀÀå º¯È£¹ÎÀÔ´Ï´Ù,

2006³â 1¿ù 1ÀÏ ºÎÅÍ Micro-nano Fab¼¾Å͸¦ ÀÌ¿ëÇÏ´Â ¸ðµç ȸ¿ø´Ôµé²²¼­´Â Àåºñ ¿¹¾àÀ» ÇÏ·ç Àü¿¡ ÇØÁֽñ⠹ٶó¸ç, °ü¸®ÀÚ°¡ Á¤ÇØÁØ ½Ã°£(¿¹¾à °ËÅä ¹× ½ÂÀÎ)¿¡¸¸ Àåºñ¸¦ »ç¿ëÇϽñ⠹ٶø´Ï´Ù,ÀÌ´Â ¹«ºÐº°ÇÑ Àåºñ ÀÌ¿ëÀ¸·Î ÀÎÇØ Àåºñ °íÀå ¹× ¾ÈÀü »ç°í¸¦ ¹Ì¿¬¿¡ ¹æÁöÇÏ°í,»çÀü¿¡ ¹Ì¸® Àåºñ¸¦ ¿¹¾àÇÑ ºÐµéÀÇ ºÒÆíÇÔÀ» »çÀü¿¡ ¹æÁöÇϱâ À§ÇÑ °ÍÀÔ´Ï´Ù,

¸¸¾à ºÎµæÀÌÇÑ »çÁ¤¿¡ ÀÇÇØ ´çÀÏ ¿¹¾àÀ» ÇÏ°ÔµÉ °æ¿ì ¹Ýµå½Ã ´çÀÏ ¿ÀÀü 12½Ã Àü¿¡ ¿¹¾àÀ» ÇØÁֽðí,±× ³»¿ëÀ» °ü¸®½Ç¿¡ Å뺸ÇØ Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù,

À̸¦ À§¹ÝÇÒ °æ¿ì ´çÀÏ Àåºñ »ç¿ëÀ» ±ÝÁöÇϸç, µÎ¹ø ÀÌ»ó °°Àº À§¹ÝÀÌ Àû¹ßµÇ¸é, ȸ¿ø µî·ÏÀ» Ãë¼ÒÇÏ´Â µ¿½Ã¿¡ 6°³¿ù°£ Fab ÃâÀÔÀ» ±ÝÁöÇÏ°Ú½À´Ï´Ù.
 
 
  ȸ¿ø´Ôµé²²¼­´Â ¹Ýµå½Ã ¼÷ÁöÇϽñ⠹ٶø´Ï´Ù,
  KOH Bath ¼ö¸® ¿Ï·á