MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
 
    ȸ¿ø´Ôµé²²¼­´Â ¹Ýµå½Ã ¼÷ÁöÇϽñ⠹ٶø´Ï´Ù,
    2005-12-22   4,794
   
 
  ¾È³çÇϽʴϱî
Micro-Nano Fab¼¾ÅÍ ¿î¿µÆÀÀå º¯È£¹ÎÀÔ´Ï´Ù.

2006³â 1¿ù 1ÀÏ ºÎÅÍ Micro-nano Fab¼¾Å͸¦ ÀÌ¿ëÇÏ´Â ¸ðµç ȸ¿ø´Ôµé²²¼­´Â ´ÙÀ½°ú °°Àº ³»¿ëÀ» ¼÷ÁöÇØ Áֽñ⠹ٶø´Ï´Ù.

Áö±Ý±îÁö ȸ¿ø´Ôµé²²¼­´Â °³ÀÎÀûÀÎ »çÀ¯³ª ¿¬±¸ Ã¥ÀÓÀÚÀÇ Áö½Ã¿¡ ÀÇÇØ Fab¼¾ÅÍ¿¡ µî·ÏÇÏÁö ¾ÊÀº ºÐµéÀ» µ¿ÇàÇÏ¿© FabÀ» ÃâÀÔÇϽô °æ¿ì°¡ ¸¹¾Ò½À´Ï´Ù,

ÇÏÁö¸¸ 2006³â 1¿ù 1ÀÏ ºÎÅÍ´Â À̸¦ Çã¿ëÇÏÁö ¾ÊÀ» °ÍÀ̸ç, µî·ÏÇÏÁö ¾ÊÀº »ç¶÷Àº Àý´ë·Î FabÀ» ÃâÀÔÇÒ¼ö ¾ø½À´Ï´Ù,

ÀÌ´Â Fab ½Ã¼³¿¡ ´ëÇÑ »çÀü Áö½ÄÀÌ ¾ø´Â »ç¶÷µéÀÌ °©Àڱ⠴þ¸é¼­ ¿À´Â ȸ¿ø´ÔµéÀÇ ºÒ¸¸°ú Ȥ½Ã ¹ß»ýÇÒÁöµµ ¸ð¸£´Â ¾ÈÀü »ç°í¸¦ ¹Ì¿¬¿¡ ¹æÁöÇϱâ À§ÇÑ Á¶Ä¡ÀÔ´Ï´Ù.

¸¸¾à À̸¦ À§¹ÝÇÒ °æ¿ì ´çÀÏ Fab ÃâÀÔÀ» ±ÝÁöÇϸç, µÎ¹ø ÀÌ»ó °°Àº À§¹ÝÀÌ Àû¹ßµÇ¸é, ȸ¿ø µî·ÏÀ» Ãë¼ÒÇÏ´Â µ¿½Ã¿¡ 6°³¿ù°£ Fab ÃâÀÔÀ» ±ÝÁöÇÏ°Ú½À´Ï´Ù.
 
 
  Furnace,LPCVD1 Àåºñ¼ö¸®·ÎÀÎÇØ »ç¿ëºÒ°¡
  Fab.¼¾Å͸¦ ÀÌ¿ëÇÏ´Â ¸ðµç ȸ¿ø´Ô²² ¾Ë·Áµå¸³´Ï´Ù,