MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
 
    Silicon Deep Etching (ICP) 6ÀÎÄ¡ °¡´É
    2006-05-25   4,647
   
 
  6ÀÎÄ¡ Deep Silicon EtchingÀÌ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù,<br />
¸¹Àº ÀÌ¿ë¹Ù¶ø´Ï´Ù,
 
 
  E-SEM Àåºñ°¡ Set-up µÇ¾ú½À´Ï´Ù,
  SEM¼¼¹Ì³ª°¡ 5¿ù17ÀÏ ¼ö¿äÀÏ 2½Ã¿¡ ÀÖ½À´Ï´Ù.