MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
 
    E-SEM Àåºñ°¡ Set-up µÇ¾ú½À´Ï´Ù,
    2006-05-25   5,475
   
 
  2006³â 6¿ù 1ÀϺÎÅÍ E-SEM ÀÇ·Ú¸¦ ¹Þ½À´Ï´Ù,
Resolution : 3.5nm
Vega SEM
 
 
  LPCVD (Nitride) Àåºñ °ü·Ã °øÁö
  Silicon Deep Etching (ICP) 6ÀÎÄ¡ °¡´É