LPCVD (Nitride) 장비 관련 공지     2006-05-25   4,398     KOH MASK용 질화막 증착은 가능하며, 5000A 이하까지 증착이 가능합니다, 단, Low stress Nitride 막 증착은 어렵게 되었습니다,       휴무관련 공지   E-SEM 장비가 Set-up 되었습니다,