MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
 
    ÈÞ¹«°ü·Ã °øÁö
    2006-05-25   4,183
   
 
  2006³â 5¿ù 26ÀÏ KIST üÀ°ÀÏÀº Á¤»ó¿î¿µÇÕ´Ï´Ù,
2006³â 6¿ù 9ÀÏ (±Ý¿äÀÏ) Fab Á¤ºñ¸¦ À§ÇØ ÇÏ·ç ÈÞ¹«¸¦
½Ç½ÃÇÕ´Ï´Ù,
 
 
  Fab¼¾ÅÍ ÀÌ¿ëÀڵ鲲,,,(Çʵ¶)
  LPCVD (Nitride) Àåºñ °ü·Ã °øÁö