MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
 
    Ãß¼®¿¬ÈÞ ÈÞ¹«°ü·Ã °øÁö»çÇ×
    2006-09-28   4,182
   
 
  10¿ù 5ÀÏ~10¿ù 8ÀϱîÁö Fab °¡µ¿ÀÌ ÁßÁöµË´Ï´Ù,
¸ðµç ÀÌ¿ëÀÚ´Â FabÀ» ÃâÀÔÇÒ¼ö ¾øÀ¸¸ç, ¾ÈÀüÀ» À§ÇØ
¸ðµç ÀåºñÀÇ Power °ø±Þ ¹× Gas °ø±ÞÀ» Áß´ÜÇÕ´Ï´Ù,
 
 
  (Çʵ¶) ¾ÈÀü °ü·Ã °øÁö»çÇ×
  9¿ù9ÀÏ Åä¿äÀÏ º¸ÀÏ·¯ Á¡°ËÀ¸·Î ÀÎÇØ ÆÕ¿¡ ÃâÀÔÇÒ¼ö ¾ø½À´Ï´Ù.