MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
 
    (Çʵ¶) ¾ÈÀü °ü·Ã °øÁö»çÇ×
    2006-10-17   4,387
   
 
  ¾È³çÇϽʴϱî
Fab ¿î¿µÆÀÀå º¯È£¹ÎÀÔ´Ï´Ù,

FabÀ» ÀÌ¿ëÇÏ´Â ¸ðµç ÀÌ¿ëÀںе鲲 ¾ÈÀü °ü·Ã °øÁö
»çÇ×À» Àü´ÞÇÏ°íÀÚ ÇÕ´Ï´Ù,

1. Photo Room¿¡¼­ ÀÛ¾÷ÇϽǶ§, ¾Æ¼¼Åæ ¹× IPAµî
  Èֹ߼º ¹× ÀÎÈ­¼ºÀÌ °­ÇÑ ¿ë¾×À» °¡¿­ÇÏ¿© »ç¿ëÇÏ´Â
  °ÍÀ» ±ÝÁöÇÕ´Ï´Ù,
  ¶ÇÇÑ ¸ðµç ¿ë¾×ó¸® °øÁ¤Àº °øÁ¶°¡ ÀÌ·ç¾îÁö´Â
  À¯±â¹è½º¿¡¼­ ÁøÇàÇϴ°ÍÀ» ¿øÄ¢À¸·Î ÇÕ´Ï´Ù,

2. »ê¿ë¾×À» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ÁøÇàÇÏ´Â °øÁ¤Àº ¹Ýµå½Ã ¹è±â°¡
  ÀÌ·ç¾îÁö´Â Acid Wet-Station¿¡¼­ ÁøÇàÇϽñ⠹ٶø
  ´Ï´Ù,
  ÀÌ °æ¿ì ¹Ýµå½Ã ¾ÈÀüº¸È£±¸¸¦ Âø¿ëÇϼžßÇÏ¸ç ¾ÈÀü
  º¸È£±¸ Âø¿ëÀº ¾È³» »çÁøÀ» ÂüÁ¶ÇÏ¿© Âø¿ëÇϽøé
  µË´Ï´Ù, 

¸ð¸£´Â »çÇ×Àº ÀÓÀ¸·Î ó¸®ÇÏÁö ¸¶½Ã°í ¹Ýµå½Ã °ü¸®ÀÚÀÇ ÇùÁ¶¸¦ ¾ò¾î ó¸®ÇϽñ⠹ٶó¸ç ÀÌ ¸ðµç°ÍÀº ¿©·¯ºÐÀÇ ¾ÈÀüÀ» À§ÇØ ¹Ýµå½Ã ÁöÄÑÁֽñ⠹ٶø´Ï´Ù,
 
 
  (Çʵ¶) °øÁö»çÇ×
  Ãß¼®¿¬ÈÞ ÈÞ¹«°ü·Ã °øÁö»çÇ×