MICRO/NANO FABRICATION
 
 
 
         
 
 
    (Çʵ¶) °øÁö»çÇ×
    2006-11-02   4,436
   
 
  ¾È³çÇϽʴϱî
micro-nano Fab ¿î¿µÆÀ¿¡¼­ ´ÙÀ½°ú °°ÀÌ »ç¿ëÀڵ鲲
°øÁö»çÇ×ÀÌ ÀÖ¾î ¾È³»µå¸³´Ï´Ù,

* Photo °øÁ¤À» ÇϱâÀ§ÇØ litho room¿¡¼­ ÀÛ¾÷ÇÏ´Â ¸ðµç
  ºÐÀº ¾ÈÀüÀ» À§ÇØ ¹Ýµå½Ã ÁöÄÑÁֽñ⠹ٶø´Ï´Ù,
 1. ³ë±¤ °øÁ¤ÈÄ Çö»óÀ» À§ÇÑ ¸ðµç ¿ë¾× ÀÛ¾÷Àº ¹Ýµå½Ã
    ¹è±â ¼³ºñ°¡ µÇ¾îÀÖ´Â Wet-station ¾È¿¡¼­ ÇϽðí
    TableÀ̳ª ±âŸ ¹Ù´Û¿¡¼­ ÁøÇàÇϴ°ÍÀ» ±ÝÁöÇÕ´Ï´Ù.
 2. ŸÀÎÀÇ ¿ë¾×À» »ç¿ëÇÏÁö ¸¶½Ã±â ¹Ù¶ø´Ï´Ù,
 3. ¶ÇÇÑ »ç¿ëÇÑ ¿ë¾×Àº ¹Ù·Î¹Ù·Î º»ÀÎÀÌ ¿ë¾× ¼ö°ÅÇÔ¿¡
    ¹ö·ÁÁÖ½Ã°í ¿ë±â´Â ±ú²ýÇÏ°Ô ¼¼Ã´ ¹Ù¶ø´Ï´Ù,
 
ÀÌ ¸ðµç°ÍÀº ¿©·¯ºÐ °³ÀÎÀÇ ¾ÈÀü¹× °°ÀÌ °øÁ¤ÇÏ´Â ´Ù¸¥
ºÐµéÀÇ ¾ÈÀü¿¡µµ Áß¿äÇϱ⠶§¹®¿¡ ¹Ýµå½Ã ÁöÄÑÁֽñ⠹ٶø´Ï´Ù, À̸¦ À§¹ÝÇÒ °æ¿ì Fab ÃâÀÔÀ» ±ÝÁöÇÏ°Ú½À´Ï´Ù,
   
   
 
 
  RIE/PECVD »ç¿ë¾È³»
  (Çʵ¶) ¾ÈÀü °ü·Ã °øÁö»çÇ×