|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(Çʵ¶) °øÁö»çÇ× |
|
|
|
|
|
2006-11-02 |
|
|
4,436 |
|
|
|
|
|
¾È³çÇϽʴϱî
micro-nano Fab ¿î¿µÆÀ¿¡¼ ´ÙÀ½°ú °°ÀÌ »ç¿ëÀڵ鲲
°øÁö»çÇ×ÀÌ ÀÖ¾î ¾È³»µå¸³´Ï´Ù,
* Photo °øÁ¤À» ÇϱâÀ§ÇØ litho room¿¡¼ ÀÛ¾÷ÇÏ´Â ¸ðµç
ºÐÀº ¾ÈÀüÀ» À§ÇØ ¹Ýµå½Ã ÁöÄÑÁֽñ⠹ٶø´Ï´Ù,
1. ³ë±¤ °øÁ¤ÈÄ Çö»óÀ» À§ÇÑ ¸ðµç ¿ë¾× ÀÛ¾÷Àº ¹Ýµå½Ã
¹è±â ¼³ºñ°¡ µÇ¾îÀÖ´Â Wet-station ¾È¿¡¼ ÇϽðí
TableÀ̳ª ±âŸ ¹Ù´Û¿¡¼ ÁøÇàÇϴ°ÍÀ» ±ÝÁöÇÕ´Ï´Ù.
2. ŸÀÎÀÇ ¿ë¾×À» »ç¿ëÇÏÁö ¸¶½Ã±â ¹Ù¶ø´Ï´Ù,
3. ¶ÇÇÑ »ç¿ëÇÑ ¿ë¾×Àº ¹Ù·Î¹Ù·Î º»ÀÎÀÌ ¿ë¾× ¼ö°ÅÇÔ¿¡
¹ö·ÁÁÖ½Ã°í ¿ë±â´Â ±ú²ýÇÏ°Ô ¼¼Ã´ ¹Ù¶ø´Ï´Ù,
ÀÌ ¸ðµç°ÍÀº ¿©·¯ºÐ °³ÀÎÀÇ ¾ÈÀü¹× °°ÀÌ °øÁ¤ÇÏ´Â ´Ù¸¥
ºÐµéÀÇ ¾ÈÀü¿¡µµ Áß¿äÇϱ⠶§¹®¿¡ ¹Ýµå½Ã ÁöÄÑÁֽñ⠹ٶø´Ï´Ù, À̸¦ À§¹ÝÇÒ °æ¿ì Fab ÃâÀÔÀ» ±ÝÁöÇÏ°Ú½À´Ï´Ù,
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|